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標準型勻膠機

更新時間:2019-05-13      點擊次數:347

標準型勻膠機  臺式勻膠機 型號:SC-1B

SC-1B標準型勻膠機主要于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。  
    采用變頻技術控制旋涂速度與時間,有效控制膠的厚度、均一性。可應用于各研究領域前期及小規模生產。 
主 要 技 術 指 標1. 控制顯示:LED數字控制器,用戶可通過控制器進行參數修改設置 
2. 勻膠模式:可同時輸入七組數值,即轉速及勻膠時間可任意設置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔,轉速啟動后先低速運轉(Ⅰ檔),然后自動執行Ⅱ檔、……Ⅶ檔,直至達到高速運轉。 
3.勻膠時間:1~9999s任意時間可設置 
4.勻膠速度:0~8000rmp可調 
5.旋轉加速度:0~8000rpm/sec 由低速到高速加速時間0.1s~0.5s 
6.轉速穩定度:±1rmp 
7.涂膠均勻性:±3% 
8.可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞) 
9.基片厚度:  ≤5mm 
 配 置 參 數1.設備配置Ф200mm接膠裝置 
2.電機功率:90W,額定轉速8000rmp 
3.真空泵:FY-1C旋片式真空泵,抽速60L/min(用戶可選配無油型真空泵) 
4.樣片托:標配1英寸一個,2英寸一個,其它規格按要求定制 
5.輸入電源: AC220V/240V  50HZ 
6.整機功率:100W 
7.機身尺寸: 280×360×240mm 
8.機身重量:10Kg

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